"Influencia de la temperatura en la dureza de recubrimientos de Tin obtenidos por la técnica de erosión catódica"

En esta tesis se desarrollaron recubrimientos de Nitruros de Titanio a partir de un blanco de Ti (99.999% pureza) con la técnica de erosión catódica (Sputtering) en modo de corriente directa DC, variando la temperatura del sustrato: temperatura ambiente aprox. 25°C, 100°C, 150°C y 200°C para observar la influencia de estas temperaturas en el comportamiento de las propiedades mecánicas de los recubrimientos. Se utilizaron varias técnicas de caracterización como la Perfilometría con la cual se midieron espesores de las muestras, Microscopia Electrónica de Barrido (SEM) donde se obtuvieron imágenes superficiales así como composición química, Espectroscopia de Dispersión Raman (RDS) donde por medios de análisis vibracionales se obtuvieron resultados de composición molecular en las muestras, Difracción de Rayos X (DRX) que nos mostró datos de micro-estructuras cristalográficas y composición química, Microscopia de Fuerza Atómica (AFM) por medio de esta técnica se pudo obtener datos de topografía superficial Nanoindentación que proporcionó datos sobre propiedades y mecánicas principalmente la dureza